激光干涉仪系统

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类别: 重点实验室 高性能复杂制造国家重点实验室

品牌: 型号: 未知

项目简介

用于精密长度、角度的测量如线纹尺、光栅、量块、精密丝杠的检测。

详细参数

1)可测量速度、加速度、振动等参数; 2)测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角。
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