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光电子器件端面处理系统
在线咨询品牌： 型号： 未知
设备技术规格：
1）最大加工尺寸: φ200mm-φ250mm
2）主轴 2.1 配置方式: 单主轴 2.2 额定功率： 2.4KW at 60,000 min-1 kw 2.3 最大转数： 60,000 min-1
3）X轴 进刀速度有效范围：0.1 – 600 mm/s
4）Y轴 4.1 最小步进量： 0.0001 mm 4.2 定位精度： 0.0015以内/200 mm
5）Z轴 5.1 重复定位精度: 0.001 mm 5.2 标准对应刀片直径： ø58 mm
6）诸要素 6.1 尺寸：965 x 1,300 x 1,600 mm 6.2 重量：约900 kg
7）加工精度 切割精度≤1um,误差为200mm内≤0.0015mm
8）在线检测功能
9）配备恒温水冷却与循环系统
10）配备8寸晶圈和8寸UV膜贴敷机
11）设备运行可靠性高
