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光学轮廓仪
品牌： 型号： 未知
技术指标：
1．纵向扫描范围：0.1nm~1mm(标配） ；
2．纵向量程：150nm/1mm ；
3．横向取样间隔：80~13100nm ；
4．垂直纵向分辨率：0.1nm ；
5．光学横向分辨率：400~600nm ；
6．测量倍数：5×~100×；
7．最大扫描速度：24um/s；
8．样品台尺寸：100mm 。
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