材料二维和三维表面微观形貌的测量，具有大景深，适合测试高度较大，表面较粗糙的样品。具有多点自动测量、图像拼接功能。

规格： 20-5000X/1μm/0.1μm

 技术指标： 

 1.分辨率：具有200万物理像素；带有3CMOS模式，通过物理平移技术最高可实现5400万像素 

2.带有图像抖动修正功能，具有D.F.D方式的景深合成功能, 可以进行快速景深合成和高精细景深合成。并有图片位置补正功能。 

3.测量方式：任意两点间距离、半径、直径、同心度、交叉线、垂线、平行线、角度、高度，并可实现实时测量。  

4.拼接功能：可以进行图像拼接，最大20000*20000像素拼接。 

 5.VH-Z20T超小型高性能变焦镜头： 放大倍数：20～200X。 观察范围：15.24～1.52mm(H) 工作距离：25.5mm 控制器可以自动识别镜头和倍率。 

 6.VH-Z100T大范围变焦物镜： 放大倍数：100X~1000X 观察范围(mm)：3.05~0.3（H） 工作距离(mm):25 照明方式：同轴垂直照明与环形照明 

 7.VH-Z500T高清晰度变焦镜头 放大倍数：500～5000X 观察范围：0.610~0.061mm（H） 工作距离：4.4mm 控制器可以自动识别镜头和倍率 照明方式：同轴垂直照明 

8.超微动、多视角三维载物台： VHX-S550E：倾斜角度，可带动镜头左侧60度，右侧90度倾斜。XYZ三轴都带有自动电机；Z载物台移动量 49毫米。二维移动平台XY方向自由滑动，移动范围40×40mm,螺杆移动方式，载物台旋转角度180°。同时带有透射，反射观察功能。 

 9.带有快速抑制眩光功能, 可以快速消除观察物体的强反光；并且在消除反光的同时可以进行三维形貌合成。