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磁控例子溅射台
在线咨询品牌： 型号： 未知
设备类型：实验室常用设备
1.配置一个1200W的直流电源，带自动切换器，可以自动切换到所有三个溅射靶枪，实现直流溅射；
2.配置一个600W射频电源，自动匹配，可以自动切换到两个靶枪实现射频溅射，并切换到工件台射线射频偏压预清洗（带独立控制器和匹配器）；
贵金属材料（均匀性优于±5%，重复性优于±3%）（膜厚100nm以内）；
普通金属材料（均匀性优于±5%，重复性优于±3%）（膜厚100nm以内）。
