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ICP刻蚀机
品牌： 型号： 未知
设备类型：行业专用仪器/仪表/设备, 机械专用仪器/设备, 真空获得及其应用设备(镀膜机、沉积系统、刻蚀机等)
刻蚀硅（四寸范围优于±3%）
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