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磁控溅射机
品牌: 型号: 未知
实验室常用设备
1.配置一个1200W的直流电源,带自动切换器,可以自动切换到所有四个溅射靶枪,实现直流溅射;
2.配置一个600W射频电源,自动匹配,可以自动切换到两个靶枪实现射频溅射,并切换到工件台射线射频偏压预清洗(带独立控制器和匹配器);
贵金属材料(均匀性优于±5%,重复性优于±3%)(膜厚100nm以内);
普通金属材料(均匀性优于±5%,重复性优于±3%)(膜厚100nm以内)
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