钨灯丝扫描电子显微镜

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类别: 重点实验室 西安交通大学分析测试共享中心

品牌: 型号: 未知

项目简介

日立SU3500是目前市场上钨灯丝扫描电镜中低电压分辨率最好的电镜之一,在3kV时分辨率可达7nm。

SU3500可变压力模式允许对处于自然状态下的潮湿、油腻和非导电样品进行观察,电子束与空气分子相撞产生的正电荷可消除样品表面的多余电荷,因此不需要进行传统的干燥或镀膜等样品前处理过程。

该设备同时配备有能谱和电子背散射衍射模块,可广泛用于材料微区形貌、成分以及晶体微区取向等的研究。

详细参数

1、分辨率:30 kV时3 nm;3 kV时 7 nm;

2、加速电压:0.3 – 30kV 连续可调;

3、SEM放大倍数:5 – 300k倍(底片倍率*5);7 – 800k倍(显示器显示倍率*6);

4、可变压力范围:6 – 650Pa。

可检测项目

分辨率30 kV时3 nm,3 kV时7 nm;

可拍摄自然状态下的潮湿、油腻和非导电性样品;

配有低真空二次电子探头,可拍生物样品;

同时配有牛津能谱仪和EBSD探头,可进行晶体微区取向等的研究。

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