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EDS电子能谱
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用于观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织，并对材料表面微区成分进行定性和定量分析。包括：金属、 陶瓷、混凝土、生物、高分子、矿物、纤维等无机或有机固体材料的断口、表面形貌、变形层等的观察；材料的相分布和夹杂物形态成分的鉴定；金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定；纳米材料及其它无机或有机固体材料的粒度观察和分析；进行材料表面微区成分的定性和定量分析。
二次电子分辨率:1.0nm(15 kV); 2.0 nm(1 kV) 背散射电子分辨率:3.0 nm(15 kV) 电子枪:冷场发射电子源 加速电压:0.53～30 kV（0.1 kV/步，可变） 放大倍率:×30 ～ ×800,000。 X射线能谱仪的元素分析范围为Be4～U92.
用于观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织，并对材料表面微区成分进行定性和定量分析
