电子能谱仪
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用于表面的成分分析和表面元素化学态的分析。它所获得的信息主要是从样品表面的数埃至数十埃的准表面层得到的,因此,特别适用于研究表面态,既可以研究分子的价电子体系,又可研究束缚得比较紧的原子内层能级。
单色化Al Kα,清洁Ag样,Ag3d5/2;大面积XPS,FWHM ≤ 1.0 eV时,灵敏度 ≥ 1,000,000 cps;20μm, FWHM ≤ 0.60 eV时,灵敏度 ≥ 15,000 cps;成像XPS,最佳空间分辨率 ≤ 10μm;真空度:≤ 6.7×10-10 mbar。