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台阶仪
品牌： 型号： 未知
扫描长度：55mm；垂直测量范围：524μm(标准），最大可达1mm；垂直分辨率：1Å(6.55μm范围) ；探针压力：1~15mg，最小可达1mg；探针曲率半径：0.2~25μm；全自动样品台：最大4英寸样品，向下兼容；软件控制样品位置，精确定位。
主要用于膜厚测量、应力分析和表面形貌分析。
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