时域热反射测量系统(TDTR)

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类别: 专用设备和系统 制造加工设备

品牌: 型号: 未知

项目简介

1.体块、薄膜材料的热导率测量;2.异质界面界面热导的测量;3.液体、纳米颗粒、高分子材料热导率测量;4.纳米薄膜的厚度、声速或者弹性模量测量;

详细参数

测量指标

TDTR性能参数

适用材料

薄膜、体块材料,液体,纳米颗粒

样品尺寸

厚度 > 50 nm,横向尺寸 > 5 μm

热导率范围

0.05 - 2000 W/(m·K)

测量误差

体块 ~ 8%,薄膜 ~ 12%

可检测项目

典型案例/测试结果:

图(a.对常见体块材料(由上至下分别为硅、蓝宝石、铌酸锂、二氧化硅、云母)测量信号(-Vin/Vout)示意图;

图(b.对上述材料测量得到的热导率数值和文献报道数值的对比示意图;

图(c.对体块蓝宝石变温测量得到的热导率数值与文献报道数值、3ω法测量数值的对比示意图;

图(d.292nm二氧化硅片(以硅为衬底)变温测量得到的热导率数值与文献报道数值的对比示意图。

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