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RIE（反应离子刻蚀台）
介绍：介质材料/Si材料刻蚀
机构：南智光电
型号：HAASRODE-R150S
品牌：鲁汶仪器 华东地区
ICP1（电感耦合等离子刻蚀台）
介绍：介质材料/Si刻蚀/铌酸锂刻蚀/钽刻蚀
机构：南智光电
型号：HAASRODE-E200A
品牌：鲁汶仪器 华东地区
ICP2（电感耦合等离子刻蚀台）
介绍：Ⅲ-Ⅴ材料刻蚀（GaN、SiC等）...
机构：南智光电
型号：SI 500
品牌：SENTECH 华东地区
减薄抛光系统（抛光机）
介绍：Engis减薄抛光系统，可用于 I...
机构：南智光电
型号：EJ-380IN-CH-D
品牌：Engis 华东地区
减薄抛光系统（减薄机）
介绍：Engis减薄抛光系统，可用于 I...
机构：南智光电
型号：EVG200
品牌：Engis 华东地区
减薄抛光系统（贴片机）
介绍：Engis减薄抛光系统，可用于 I...
机构：南智光电
型号：EBM-200-1AL-TC
品牌：Engis 华东地区
解理机
介绍：GaN、GaAs、InP等化合物半...
机构：南智光电
型号：ESD-620
品牌：精良电子 华东地区
三维轮廓仪
介绍：微纳器件的三维结构，粗糙度，台阶等...
机构：南智光电
型号：Micro XAM 100
品牌：KLA Tencor 华东地区
膜厚仪
介绍：薄膜厚度测量
机构：南智光电
型号：MSP300S
品牌：AST 华东地区
金丝键合机
介绍：手动引线键合机，将金线连接到半导体器件上
机构：南智光电
型号：7KE
品牌：WestBond 华东地区
云计算模拟仿真中心 全国
二维红外 华东地区
BE-8102 中南地区
SLPA-D型 全国
250XI 东部地区
试验系统 河南省
HH-1 重庆
风洞实验室 重庆
