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接触式光刻机
介绍：用于微纳米加工工艺中高精度的曝光与套刻
机构：南智光电
型号：MA6-Gen4
品牌：SUSS 华东地区
电子束蒸发台
介绍：电子束蒸发镀膜，可镀材料为Al、T...
机构：南智光电
型号：ei-501z
品牌：ULVAC 华东地区
光学镀膜机
介绍：光学镀膜(可镀激光器端面增透膜、高...
机构：南智光电
型号：RSP750
品牌：衡岳 华东地区
PECVD（等离子体化学气相沉积）
介绍：适用于用于沉积介质膜（SiO2和S...
机构：南智光电
型号：CC-200Cz
品牌：ULVAC 华东地区
RIE（反应离子刻蚀台）
介绍：介质材料/Si材料刻蚀
机构：南智光电
型号：HAASRODE-R150S
品牌：鲁汶仪器 华东地区
ICP1（电感耦合等离子刻蚀台）
介绍：介质材料/Si刻蚀/铌酸锂刻蚀/钽刻蚀
机构：南智光电
型号：HAASRODE-E200A
品牌：鲁汶仪器 华东地区
ICP2（电感耦合等离子刻蚀台）
介绍：Ⅲ-Ⅴ材料刻蚀（GaN、SiC等）...
机构：南智光电
型号：SI 500
品牌：SENTECH 华东地区
减薄抛光系统（抛光机）
介绍：Engis减薄抛光系统，可用于 I...
机构：南智光电
型号：EJ-380IN-CH-D
品牌：Engis 华东地区
减薄抛光系统（减薄机）
介绍：Engis减薄抛光系统，可用于 I...
机构：南智光电
型号：EVG200
品牌：Engis 华东地区
减薄抛光系统（贴片机）
介绍：Engis减薄抛光系统，可用于 I...
机构：南智光电
型号：EBM-200-1AL-TC
品牌：Engis 华东地区
云计算模拟仿真中心 全国
二维红外 华东地区
BE-8102 中南地区
SLPA-D型 全国
250XI 东部地区
试验系统 河南省
HH-1 重庆
风洞实验室 重庆
