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ZGP晶体的化学机械抛光及表面检测
截止日期：2023-11-20 预算：面议 征集状态：已过期
预计日期 ：2023年前
实验要求/说明 指标：材料去除率，表面粗糙度1.研究抛光压力，抛光转速，抛光流量的影响。2.研究磨粒粒径及浓度，氧化剂浓度，络合剂浓度，ph值的影响。实验目的/结果 找到最佳的工艺参数及配方
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